多級(jí)脈沖電源
概述： 該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計(jì)，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級(jí)脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號(hào)，響應(yīng)速度快，信號(hào)質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。 應(yīng)用特征
該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計(jì)，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級(jí)脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號(hào)，響應(yīng)速度快，信號(hào)質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。
應(yīng)用特征
該電源主要應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。
- gmpower發(fā)布的信息
- ESC靜電卡盤電源 高品質(zhì)射頻電源
- 產(chǎn)品特點(diǎn) 1.電源寄存能量低，內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計(jì)使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過(guò)輸出極性轉(zhuǎn)換，降低了夾盤上電荷的風(fēng)險(xiǎn)。 3.短路和開(kāi)路設(shè)計(jì)增加了設(shè)備的可靠性。...
- 40KHz中頻電源（替換AE PEII）
- 產(chǎn)品性能 40KHz中頻電源提供一個(gè)40kHz的諧振開(kāi)關(guān)模式的輸出功率，具有增強(qiáng)的保護(hù)機(jī)制，其內(nèi)部負(fù)載匹配輸出可提供5KW到15kW。此組合單元不需要外部硬件，如變壓器。電源可以單極輸出和雙極...
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- 13.56MHz自動(dòng)匹配器
- 匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法，當(dāng)接近匹配點(diǎn)時(shí)，這種高速匹配算法會(huì)逐漸的減緩系統(tǒng)的速度，即使在“Q”值很高時(shí)也很容易找到匹配點(diǎn)。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω，調(diào)整的準(zhǔn)確性和可靠性可以很快的...
- 2MHz射頻電源
- 該射頻電源采用E類放大器，實(shí)現(xiàn)效率高、高可靠性。大的冗余設(shè)計(jì)，使其具有長(zhǎng)期滿功率輸出能力。特殊的濾波網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)波形的純凈。諧波性能優(yōu)越，可承受開(kāi)路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入...
- 13.56MHz射頻電源（通用型）
- 應(yīng)用于等離子體真空系統(tǒng)，具有高可靠性的電源...
開(kāi)關(guān)電源/插座插頭重發(fā)信息
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